[14a-D305-1~10] 7.5 イオンビーム一般

[14a-D305-8] イオンビームエッチング用大口径イオンビームの特性

〇早川 太朗¹、井内 裕¹、池尻 忠司¹ (1.日新イオン機器)

キーワード：イオンビーム、エッチング、イオン源

イオンビームエッチング(IBE)用のΦ300mmウエハー用の低エネルギービーム用イオン源を開発し、そのイオンビームの特性を調べた。このイオン源で引き出したイオンビームの発散角は、Ar+220eVの条件で約300mmの領域にわたって3度以下であり、ラインビーム型装置と同レベルの低い発散角が得られることが分かった。