[14a-D311-1~5] 8.3 Plasma nanotechnology

△ [14a-D311-5] Water-repellency Realization of Nanopillar Structure on Quartz surface by Bio-template Ultimate fabrication

〇Daisuke Ohori¹, Sou Takeuchi¹, Teruhisa Ishida³, Masahiro Sota³, Kazuhiko Endo⁴, Seiji Samukawa^1,2,4 (1.IFS, Tohoku Univ., 2.AIMR, Tohoku Univ., 3.NAGASE & CO., LTD., 4.AIST)

Keywords:quartz nanopillar, bio-template ultimate fabrication, water-repellency

センサ(ミリ波レーダー)やカメラ表面への防滴・防汚の実現は非常に期待されており、固体表面の微細構造を用いることで高い撥水性を示すことが広く知られている。しかしながら、レーダーやカメラのレンズで使用されるガラスは親水性であることから、毛細管現象により微細構造による撥水性の発現が困難とされている。そこで、本研究では12 nm直径および25〜60 nmで間隔を制御させた石英ナノピラー (NP)構造を作製することで撥水性を実現し、その濡れ性のメカニズムを議論した。