[14a-D311-1~5] 8.3 プラズマナノテクノロジー

△ [14a-D311-5] バイオテンプレート極限加工技術によって作製した石英上のナノピラー構造による撥水性の発現

〇大堀 大介¹、竹内 聡¹、石田 昌久³、曽田 匡洋³、遠藤 和彦⁴、寒川 誠二^1,2,4 (1.東北大流体研、2.東北大AIMR、3.長瀬産業、4.産総研)

キーワード：石英ナノピラー、バイオテンプレート極限加工技術、撥水性

センサ(ミリ波レーダー)やカメラ表面への防滴・防汚の実現は非常に期待されており、固体表面の微細構造を用いることで高い撥水性を示すことが広く知られている。しかしながら、レーダーやカメラのレンズで使用されるガラスは親水性であることから、毛細管現象により微細構造による撥水性の発現が困難とされている。そこで、本研究では12 nm直径および25〜60 nmで間隔を制御させた石英ナノピラー (NP)構造を作製することで撥水性を実現し、その濡れ性のメカニズムを議論した。