[14a-D411-1~7] 6.5 表面物理・真空

△ [14a-D411-3] ナノビームRHEEDによるマイクロパターニングSi結晶の局所表面構造解析

〇(M1)中塚 聡平¹、今泉 太志¹、虻川 匡司¹、服部 梓²、田中 秀和²、Irmikimov Aydar³、服部 賢³ (1.東北大多元研、2.阪大産研、3.奈良先端大)

キーワード：RHEED、マイクロ構造、Si

矩形マイクロパターンを施したSi(110)基板を通電加熱により100回程度フラッシングした結果、ロッドは矩形から丸みを帯びた形状に変わった。我々の開発したSEMのナノ電子ビームとRHEEDを組み合わせた測定手法による観察の結果、ロッド表面は複数の結晶面で囲まれた構造へと変化したことがわかり、さらに今回実験装置を改良し各回折パターンのスポット強度から暗視野像を測定し、各結晶面領域の可視化を実現した。