[14a-D419-1~12] 6.1 強誘電体薄膜

△ [14a-D419-6] (Al_1-xSc_x)N薄膜の強誘電特性に及ぼす製膜条件の影響

〇(M1)安岡 慎之介¹、清水 荘雄^1,2、上原 雅人³、舟窪 浩¹ (1.東工大、2.物材研、3.産総研)

キーワード：強誘電体、薄膜、窒化物

AlNに第3族元素のScを固溶させた(Al_1-xSc_x)Nは2019年に強誘電性を持つと報告され、その良好な特性から注目が高まっている。本研究では新規の研究として(Al_1-xSc_x)Nの極薄膜を二元同時スパッタリング法により作製し結晶構造及び強誘電特性に関して評価を行った。