[14a-PA1-1~32] 1.2 教育

[14a-PA1-22] 理科室で構築する工学教育用半導体デバイス設計製作評価環境

〇長岡 史郎¹、山本 雅史¹、鹿間 共一¹、清水 共¹、ジョンストン ロバート¹、松田 和典²、下川 房男³、堀邊 英夫⁴ (1.香川高専、2.徳島文理大、3.香川大、4.大阪市立大)

キーワード：半導体、デバイス、作製プロセス

各種半導体デバイスの設計製作評価を理科室のような環境で可能する“ナノテクプラットフォーム“の構築について検討しその可能性を実証した。大気環境下における熱処理により、リンとボロンの拡散と熱酸化膜作製を制御性よく実現、またマスクアライメントなしでパタンの位置合わせを正確にできるリソグラフィ方法を提案し実証した。さらに焼結による電極作製も可能なことを示した。PCを使った評価装置を実現、その教育への可能性を示した。