[14a-PA4-1~5] 13.3 Insulator technology

[14a-PA4-3] Study on electrical isolation of LED chips using polyimide thin film

〇Kota Sato¹, Takeyoshi Onuma¹, Tomohiro Yamaguchi¹, Tohru Honda¹ (1.Kogakuin Univ.)

Keywords:polyimide thin film, LED display, electrical isolation

ポリイミドを用いて LED チップの素子分離を 行ったため報告をする。スピンコート法を用いて常温溶液と冷却溶液を用いてSi基板上にポリイミドを塗布を行い、膜を形成し、比較を行なった。また、常温溶液のとき、500, 1000, 2000 rpmにおいて、質量パーセント濃度を1.0, 2.0, 3.0 wt%で塗布し、膜を形成し,比較した。質量パーセント濃度が高くなると、回転数依存性が高くなり形成した膜厚が薄く,表面平坦性が低下する傾向が見られた。