[14a-PB1-1~12] 3.1 Basic optics and frontier of optics

[14a-PB1-10] Rotational varifocal moiré metalens made of single crystalline silicon

〇Chikara Ogawa¹, Tomoyasu Nagase¹, Satoshi Ikezawa¹, Kentaro Iwami¹ (1.TUAT)

Keywords:metalens

本研究では可視光域でより高い透過率を得るため，単結晶シリコンを用いたモアレメタレンズを製作したので報告する．本研究では，寸法に依存した位相遅延を生じる単結晶シリコン柱状メタ原子を利用し，これをモアレレンズ状の位相分布を形成するように配列することで製作した．電子線リソグラフィ，リフトオフと反応性イオンエッチングによって所望の直径分布を有するメタレンズを製作できた．当日は相対回転角ごとの焦点距離の測定結果についても報告する．