[14a-PB4-1~15] 3.7 Laser processing

[14a-PB4-7] Study of pulse number on formation of circularly-polarized-LIPSS on Si substrate

Ayumu Nakamura¹, 〇Reina Miyagawa¹, Osamu Eryu¹ (1.Nagoya Inst. Tech)

Keywords:LIPSS

レーザーの偏光により、LIPSSの形状が変化することが知られているが、円偏光レーザーでのLIPSS形成の報告例は少なく、構造形成過程が明らかになっていない。本発表では、レーザーのパルス積重数変化により、Si基板への円偏光LIPSSの形成過程を調べた。