[14a-PB5-1~14] 6.6 Probe Microscopy

[14a-PB5-6] Wide band Phase-Lock-Loop for Frequency-Modulation Atomic-Force-Microscopy

〇(M1)Tsukasa Ohira¹, Masayuki Abe¹ (1.Osaka Univ.)

Keywords:Frequency-Modulation Atomic-Force-Microscopy(FM-AFM), Phase Lock Loop(PLL), Wide band

FM-AFMは十分な空間分解能を持ったイメージングシステムであり，これまでに多くの分子・半導体等の観察に成功してきた．FM – AFMでは，探針-試料間相互作用によって生じたカンチレバーの共振周波数の変化を，PLLを用いて復調している．今後，生体分子の動的観察には高感度・広帯域なPLLが必要となる．今回，広帯域なPLLをディスクリート状に構築し，帯域と感度の評価を行い，高感度かつ広帯域なPLL構築に向けての検討を行ったので報告する．