[14p-A302-1~18] 15.4 III-V族窒化物結晶

[14p-A302-18] 表面活性化接合に必要な表面平坦性を維持するGaNのエッチング

〇(B)横山 尚生¹、田辺 凌¹、森川 隆哉¹、藤原 康文¹、上向井 正裕¹、谷川 智之¹、片山 竜二¹ (1.阪大院工)

キーワード：表面活性化接合