[14p-A303-1~14] 【CS.4】 6.1 強誘電体薄膜、13.3 絶縁膜技術、13.5 デバイス／配線／集積化技術のコードシェア

[14p-A303-7] 走査型非線形誘電率顕微鏡による(Hf,Zr)O₂薄膜の観察

〇藤沢 浩訓¹、中嶋 誠二¹、右田 真司² (1.兵庫県大、2.産総研)

キーワード：HfO2、分極疲労、非線形比誘電率顕微鏡

高集積FeRAMへの応用が期待されるHfO₂系強誘電体薄膜は，繰り返しの書き換えに伴う分極反転疲労が著しく，解決すべき課題として残されている．疲労の原因を明らかにするには，微視的な強誘電特性の理解が必要と考え，非線形比誘電率顕微鏡(SNDM)を用いて，(Hf,Zr)O₂薄膜の強誘電特性をSNDMにより観察した結果について報告する．