[14p-A305-1~14] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[14p-A305-10] 非鉛BiFeO₃圧電膜を用いた圧電MEMS振動発電素子のランダム振動印加時の発電特性

〇村上 修一¹、吉村 武²、金岡 祐介¹、佐藤 和郎¹、津田 和城¹、藤村 紀文² (1.大阪技術研、2.大阪府大工)

キーワード：環境発電、振動発電、圧電MEMS

近年、IoT社会到来に向けて身近にある光、温度差、振動などから電気エネルギーに変換する環境発電が注目されている。我々は構造が簡便で小型化に有利な圧電MEMS振動発電素子の研究開発を進めている。今までに非鉛圧電体であるBiFeO₃に着目し、優れた圧電体として知られるPb(Zr,Ti)O₃を用いた振動発電素子と同等以上の発電性能を実現している。今回、実環境に近いランダム振動を用いて特性評価を行ったので報告する。