The 67th JSAP Spring Meeting 2020

Presentation information

Oral presentation

17 Nanocarbon Technology » 17.3 Layered materials

[14p-A404-10~19] 17.3 Layered materials

Sat. Mar 14, 2020 4:30 PM - 7:00 PM A404 (6-404)

Moriyama Satoshi(NIMS)

6:00 PM - 6:15 PM

[14p-A404-16] Low resistance electrodes to WSe2 by using p+-MoS2/WSe2 vdW contact

Kei Takeyama1, Rai Moriya1, Satoru Masubuchi1, Kenji Watanabe2, Takashi Taniguchi1,2, Tomoki Machida1,3 (1.IIS Univ. Tokyo, 2.NIMS, 3.CREST-JST)

Keywords:2D materials, TMDCs

WSe2はTMDの一種であり遠赤外光領域で作動する光デバイスの材料として注目を集めている。しかし蒸着した金属では良好なコンタクトをとることが難しい。本研究ではp+-MoS2によるvdWコンタクトを採用することでWSe2へのオーミックなコンタクトの作製を実現した。