[14p-A405-1~15] 22.1 Joint Session M "Phonon Engineering"

△ [14p-A405-12] Performance Comparison between Single- and Poly-crystalline Si Nanowire for Planar Thermoelectric Generator

〇Motohiro Tomita¹, Hiroki Takezawa¹, Kohei Mesaki¹, Yuto Goi², Hiroya Ikeda², Hiroshi Inokawa², Takashi Matsukawa³, Takeo Matsuki^1,3, Takanobu Watanabe¹ (1.Waseda Univ., 2.Shizuoka Univ., 3.AIST)

Keywords:thermoelectric, silicon, semiconductor

多結晶Si(Poly-Si)は単結晶Si(SC-Si)よりも熱電性能の高い材料として有望視されている。しかし、我々の提案するプレーナ型構造においてはどちらの材料が優れているのか不明であった。本研究では、SC-SiおよびPoly-Siを用いたプレーナ型熱電発電素子を作製し、発電性能の比較を行った。コンタクト抵抗などが高い影響でPoly-SiはSC-Siの0.5~0.8倍の発電性能を発揮するにとどまった。コンタクト抵抗を低減できればPoly-Siを用いたプレーナ型構造でもSOIと同等の発電力が得られる可能性がある。