[14p-A405-1~15] 22.1 合同セッションM 「フォノンエンジニアリング」

△ [14p-A405-12] 単結晶および多結晶Siナノワイヤを用いたプレーナ型熱電発電素子の性能比較

〇富田 基裕¹、武澤 宏樹¹、目崎 航平¹、五井 悠仁²、池田 浩也²、猪川 洋²、松川 貴³、松木 武雄^1,3、渡邉 孝信¹ (1.早大理工、2.静大、3.産総研)

キーワード：熱電変換、シリコン、半導体

多結晶Si(Poly-Si)は単結晶Si(SC-Si)よりも熱電性能の高い材料として有望視されている。しかし、我々の提案するプレーナ型構造においてはどちらの材料が優れているのか不明であった。本研究では、SC-SiおよびPoly-Siを用いたプレーナ型熱電発電素子を作製し、発電性能の比較を行った。コンタクト抵抗などが高い影響でPoly-SiはSC-Siの0.5~0.8倍の発電性能を発揮するにとどまった。コンタクト抵抗を低減できればPoly-Siを用いたプレーナ型構造でもSOIと同等の発電力が得られる可能性がある。