[14p-A405-1~15] 22.1 合同セッションM 「フォノンエンジニアリング」

[14p-A405-6] ZnO溶液を用いたテンプレートプロセスによる三次元周期的ナノ構造の作製

〇(DC)王 旭東方¹、石河 泰明¹、上沼 睦典¹、浦岡 行治¹ (1.奈良先端大)

キーワード：ナノ構造、フォノン、熱電変換

酸化亜鉛(ZnO)は金属酸化物半導体の中で比較的高いゼーベック係数を持ち、熱電材料として有望視されている。しかし、高い熱伝導率のため変換効率が低くなることが実用化への課題となっている。本研究では、溶液ベースのプロセスを用いてZnOの三次元ナノ構造を作製し、熱伝導率の低減を試みた。異なる濃度の前駆体を用い、最適なZnO 3Dナノ構造体を作製条件を検討した。表面への残留物を残さず、3Dナノ構造を作製することに成功した。