[14p-B408-1~16] 3.1 光学基礎・光学新領域

△ [14p-B408-4] 表面ナノ構造によるSi受光器の高効率化

〇(B)浅沼 将人¹、藤原 弘康²、飯田 健二³、野田 真史⁴、矢花 一浩⁴、八井 崇¹ (1.東大院工、2.浜ホト中研、3.分子研、4.筑波大)

キーワード：半導体、近接場光

先行研究では、近接場光源として金微粒子を散布したpnフォトダイオードは波数励起を起こし、受光感度は上昇することが確認された。本講演では、直径100nmの金微粒子を散布した横型pnフォトダイオードの電極間に顕微分光法を用いたマッピングによる感度評価を行った。照射した光の波長は1.06μmで、20μm四方のマッピング領域に実施した。その結果について発表する。