[14p-PA2-1~86] 2 放射線

△ [14p-PA2-73] シリコングリッドで光学分離したシンチレータ型X線イメージセンサ

〇大竹 涼太¹、田端 健人²、西澤 潤一^2,3、小池 昭文³、都木 克之³、青木 徹^1,2,3 (1.静岡大院、2.静大電研、3.(株)ANSeeN)

キーワード：X線イメージセンサ、シンチレータ、CsI(Tl)

間接変換型X線イメージセンサには，シンチレータ層での光拡散に起因する空間分解能の低下という課題がある．我々はこの課題解決に向けて，シリコン基板を半導体微細加工技術で格子状に加工したシリコングリッドにより，シンチレータ材料を光学的に分離する手法を用いた．本研究では，90 μm×90 μmの角穴を100 μmピッチで空けた400 μm厚シリコングリッドにCsI(Tl)シンチレータを封入し，それを用いたX線イメージセンサの解像特性とノイズ特性を評価した．