[14p-PB10-1~5] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

△ [14p-PB10-3] CZ-Si単結晶成長中の点欠陥挙動に与える窒素の影響 (2)

〇(M1)谷口 元春¹、末岡 浩治²、宝来 正隆³ (1.岡県大院情工、2.岡県大情工、3.株式会社SUMCO)

キーワード：点欠陥、窒素、第一原理解析