[14p-PB10-1~5] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

△ [14p-PB10-5] Si結晶中のドーパントの安定性に与える等方性応力の影響

〇岩城 浩也¹、末岡 浩治²、鳥越 和尚³、小野 敏昭³ (1.岡山県大院情報系工、2.岡山県大情報工、3.株式会社SUMCO)

キーワード：応力、ドーパント、Si結晶

結晶成長，電子デバイス製造などの工程においてSi結晶には様々な応力が負荷され，その大きさはMPa~GPaオーダーに達している．このような応力下では不純物の形成エンタルピーが変化し，それに伴って熱平衡濃度も変化するため，応力の影響はSi決勝の高品位化やデバイスの信頼性に影響する．本発表では第一原理計算を用い，応力がSi結晶中のドーパントや軽元素の形成エンタルピーに与える影響について基礎データを得た．