[14p-PB2-1~11] 3.13 Semiconductor optical devices

[14p-PB2-10] Improvement of avalanche photodiode fill factor using rounded square layout

〇Masahiro Akiyama¹, Nobuhiro Watanabe¹ (1.National Institute of Technology, Nagano College)

Keywords:Avalanche photodiode, Rounded square layout, Fill factor

高感度を実現するイメージセンサとしてAPDの利用した研究が進められている．アバランシェ増倍現象の発生には，高電圧をデバイスに印加する必要があるため高耐電圧化が求められている。その方法の1つにAPDのレイアウトを丸型にすることで局所的な電界集中を無くする方法がある．しかし，丸型は四角型のレイアウトと比較して受光面積が小さくなる問題がある．そこで，角丸四角型を用いて受光面積改善を評価した．