[14p-PB7-1~29] 12.3 Functional Materials and Novel Devices

△ [14p-PB7-15] Fabrication and characterization of stacked actuator

〇Yuichiro Takahama¹, Kei Miyakawa¹, Kazutoshi Kida¹, Kensuke Sato¹, Daichi Takahashi¹, Masahito Kushida¹ (1.Chiba Univ.)

Keywords:actuator, carbon nanotube, ionic liquid

アクチュエータを幅広く応用するためには変位量や発生応力等の問題点を改善する必要がある。しかし、アクチュエータの膜厚と発生応力および変位量にはトレードオフの関係がある。薄いアクチュエータを重ねることでこの関係の改善が期待されるため、本実験ではいくつかのアクチュエータを積層させた積層型アクチュエータの作製および特性評価を行った。