[14p-PB7-1~29] 12.3 機能材料・萌芽的デバイス

△ [14p-PB7-15] 積層型アクチュエータの作製および特性評価

〇高濱 悠一郎¹、宮川 慧¹、木田 一肇¹、佐藤 健介¹、高橋 大地¹、串田 正人¹ (1.千葉大院融)

キーワード：アクチュエータ、カーボンナノチューブ、イオン液体

アクチュエータを幅広く応用するためには変位量や発生応力等の問題点を改善する必要がある。しかし、アクチュエータの膜厚と発生応力および変位量にはトレードオフの関係がある。薄いアクチュエータを重ねることでこの関係の改善が期待されるため、本実験ではいくつかのアクチュエータを積層させた積層型アクチュエータの作製および特性評価を行った。