[14p-PB7-1~29] 12.3 機能材料・萌芽的デバイス

[14p-PB7-17] 金属細線電極を包埋したPVDF圧力マッピングセンサの作製

〇松本 晋太朗¹、但木 大介¹、山宮 慎¹、馬 騰²、今井 裕司³、平野 愛弓^1,2、庭野 道夫⁴ (1.東北大通研、2.東北大AIMR、3.仙台高専、4.東北福祉大)

キーワード：圧力センサ、ポリフッ化ビニリデン（PVDF）、圧力マッピング

我々は，有機系圧電材料であるポリフッ化ビニリデン（PVDF）を用いたフレキシブルな圧力マッピングセンサの開発を行っている。本研究では，溶液塗布ベースの簡便な方法によって成膜形成されたPVDF膜を用いた新奇な構造の圧力マッピングセンサを各種作製し，一次元方向および二次元平面上における圧力変化の検出をそれぞれ試みた。作製したこれらのマッピングセンサから得られた応答特性の詳細な解析を行った結果について報告する。