[14p-PB7-1~29] 12.3 機能材料・萌芽的デバイス

[14p-PB7-18] インプランタブルデバイスに向けたフレキシブル有機圧電薄膜のパリレン封止とセンサー/発電特性

〇近藤 佑哉¹、堀家 匠平^1,2,3、小柴 康子¹、福島 達也¹、石田 謙司¹ (1.神戸大院工、2.産総研、3.JST さきがけ)

キーワード：圧電、フレキシブル、インプランタブルセンサー