[14p-PB8-1~8] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[14p-PB8-5] テンプレート層を用いたSi基板上への鉄酸化物膜の作製

〇山中 健太^1,2、山口 憲司^2,1 (1.茨城大院、2.量研機構)

キーワード：半導体、薄膜、スパッタ蒸着