[15a-B508-1~8] 3.15 シリコンフォトニクス・集積フォトニクス

[15a-B508-8] 磁気センサの大型化を可能とする導波路集積型ダイヤモンドセンサ構造の提案

〇西山 伸彦¹、丸山 武男²、大礒 義孝¹、雨宮 智宏¹、岩﨑 孝之¹、波多野 睦子¹ (1.東工大、2.金沢大)

キーワード：ダイヤモンド、異種材料集積

ダイヤモンドNVセンタは、磁気センサなどの様々な応用が期待されている。通常、このダイヤモンドの励起は、外部からバルク基板に外から励起する方法がとられており、効率はそれほど高くない。これは特に将来の基板大型化に向けては解決すべきである。今回、これらを解決するため、異種材料集積技術を利用し励起用導波路をダイヤモンド基板に集積した素子構造を提案する。