[15a-D215-1~12] 7.2 Applications and technologies of electron beams

[15a-D215-1] Investigation of Ion Environmental Generated Inside Gas Environmental TEM During Electron Beam Irradiation

〇Tomoharu Tokunaga¹, Kawakami Takumi¹, Okawara Sae¹, Higuchi Kimitaka¹, Yamamoto Yuta¹, Yamamoto Takahisa¹ (1.Nagoya Univ.)

Keywords:gas environmental TEM, ionization

電子線が照射されているガス雰囲気に形成されるイオン環境がどのような特性を有するかを明らかにすると共に，除去方法の検討を行った．
N₂雰囲気に調整したTEM内に単孔プローブを挿入しバイアスを印加することによりI-V特性を取得し解析した結果，ガス環境中に陽イオンが存在していることが判明し，イオン化に伴って発生した電子のエネルギーは数eVであることが明らかになった．このエネルギー値を元に，イオン除去方法の検討も行った．