[15a-D221-1~6] 6.2 カーボン系薄膜

△ [15a-D221-2] パルスアークプラズマジェット中心軸への炭素源ガス供給によるDLC膜の作製

〇富永 凌也¹、針谷 達¹、滝川 浩史¹、國次 真輔²、金子 智³、権田 英修⁴、神谷 雅男⁵ (1.豊橋技科大、2.岡山県工技セ、3.神奈川県立産総研、4.OSGコーティングサービス、5.伊藤光学)

キーワード：ダイヤモンドライクカーボン、プラズマジェット

ダイヤモンドライクカーボン（Diamond-Like Carbon: DLC）膜は，優れた機械的特性を持ち，幅広く産業応用されている。しかし，一般的なDLC成膜法における成膜速度では，大量生産プロセスへの導入は難しく，DLC成膜プロセスの高速化が望まれている。本研究では，プラズマジェットの中心に，炭素源ガスを供給するガン構造を用いてDLC膜の作製を試みた。炭素源ガスを中心に配置することで，炭素源ガスの分解効率および利用効率の向上が期待できる。