[15a-D221-1~6] 6.2 Carbon-based thin films

△ [15a-D221-2] Preparation of DLC Films by Supplying Carbon Source Gas to Center of Pulse Arc Plasma Jet

〇Ryoya Tominaga¹, Toru Harigai¹, Hirofumi Takikawa¹, Shinsuke Kunitsugu², Satoru Kaneko³, Hidenobu Gonda⁴, Masao Kamiya⁵ (1.Toyohashi Univ. Technol., 2.Ind. Technol. Cent. Okayama, 3.Kanagawa Inst. Ind. Sci. Technol., 4.OSG Coating Service Co., Ltd., 5.Itoh Opt. Ind. Co., Ltd.)

Keywords:Diamond-Like Carbon, Plasma jet

ダイヤモンドライクカーボン（Diamond-Like Carbon: DLC）膜は，優れた機械的特性を持ち，幅広く産業応用されている。しかし，一般的なDLC成膜法における成膜速度では，大量生産プロセスへの導入は難しく，DLC成膜プロセスの高速化が望まれている。本研究では，プラズマジェットの中心に，炭素源ガスを供給するガン構造を用いてDLC膜の作製を試みた。炭素源ガスを中心に配置することで，炭素源ガスの分解効率および利用効率の向上が期待できる。