[15a-D221-1~6] 6.2 カーボン系薄膜

[15a-D221-5] ポストアニールが窒素添加DLC膜特性に及ぼす効果

〇長内 公哉¹、中村 和樹¹、郡山 春人¹、小林 康之¹、遠田 義晴¹、鈴木 裕史¹、末光 眞希²、中澤 日出樹¹ (1.弘前大院理工、2.東北大通研)

キーワード：ダイヤモンドライクカーボン