[15a-D305-1~10] 6.6 プローブ顕微鏡

[15a-D305-8] 磁気力顕微鏡における探針伝達関数を用いた計測磁場方向変換

和田 真羽¹、Zhao Yue¹、松村 透¹、〇斉藤 準¹ (1.秋田大理工)

キーワード：磁気力顕微鏡

磁気力顕微鏡(MFM)では空間分解能や機能性の向上が強く求められている．MFMが検出する磁場勾配における磁場の方向は探針磁化方向になるので、従来は計測したい磁場方向に合わせて探針磁化方向を調整する必要があり、３次元的な磁場計測は容易ではなかった．本研究では、MFMにおいて測定した磁場勾配信号から他の計測方向での磁場勾配を求めるための計測磁場方向変換法を開発することで３次元磁場計測を実現した。