[15a-D419-1~12] 6.1 強誘電体薄膜

[15a-D419-2] MPB組成におけるPZT薄膜の組織と結合状態に及ぼす基板種の影響

〇木口 賢紀¹、清水 匠¹、白石 貴久¹、今野 豊彦¹ (1.東北大金研)

キーワード：強誘電体薄膜、組成相境界、ドメイン構造

PZT薄膜の組成相境界(MPB)組成域およびその組織は、基板の弾性的な拘束により大きく変化する。演者らは種種の単結晶基板上に成膜したPZT薄膜において、熱応力によるMPB組成域のシフトとミスフィット転位によって誘起される歪みによりナノドメイン構造に大きな変化が現れることを見出した。本研究では、PZTに対する格子ミスマッチの異なる基板の弾性場がPZT薄膜の組織や結合状態に及ぼす影響を調べた。