[15a-PA1-1~5] 1.6 超音波

[15a-PA1-2] レーザスペックル干渉計による圧電デバイスの鏡面振動変位について

王 景¹、〇渡部 泰明¹ (1.首都大院)

キーワード：レーザスペックル、干渉、相関係数

レーザスペックル干渉において相関係数を用いた計測を行うことで，直線状のプロファイルを得ることに成功した．本研究は，レーザスペックル干渉計に対し，更に進展させることを目指して鏡面圧電デバイスをターゲットにした実験を行ったので報告する．