[15a-PA1-1~5] 1.6 超音波

[15a-PA1-3] 熱処理によるc軸平行配向ZnO膜のすべりモード電気機械結合係数の向上

〇(M2)紀本 佳苗¹、高柳 真司¹、柳谷 隆彦² (1.同志社大、2.早稲田大)

キーワード：横波型共振子、圧電薄膜、酸化亜鉛