2020年第67回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」 » 21.1 合同セッションK 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[15a-PA5-1~25] 21.1 合同セッションK 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

2020年3月15日(日) 09:30 〜 11:30 PA5 (第3体育館)

09:30 〜 11:30

[15a-PA5-18] ミストCVD法で成膜したエピタキシャルNiO薄膜の結晶及び物性評価

五十嵐 聡人1、星野 千菜美1、木下 健太郎1 (1.東理大理)

キーワード:エピタキシャル薄膜、ミストCVD