[15a-PB1-1~20] 6.4 薄膜新材料

[15a-PB1-16] スパッタリング法を用いて作製したマグネタイト薄膜におけるスピンペルチェ効果のプロセスガス種依存性

〇伊藤 拓真¹、三浦 飛鳥²、内田 健一²、柳原 英人¹ (1.筑波大物工、2.物材機構)

キーワード：薄膜、スパッタリング、スピンペルチェ効果