[15a-PB2-1~22] 8 プラズマエレクトロニクス

[15a-PB2-3] SiO₂-PTFEスパッタリングによる複合膜の合成

〇坂本 仁志¹、佐藤 英児¹ (1.CC)

キーワード：PTFE、SiO2、スパッタリング

PTFEは、その抗血栓性や耐久性から、生体医学高分子材料として重要である。通常、PTFEは、液体原料をスプレー塗布し、それを高温で乾燥させることによって被覆されていたが、複雑形状で、あるいは／かつ高温に耐えられない素材でできている基材の場合、この手法では対応できない。本研究では、SiO₂ターゲット上にPTFEチップを配置し、室温でスパッタすることにより、SiO₂-PTFE複合膜を得ることができた。