[15a-PB3-1~12] 13.4 Si processing /Si based thin film / MEMS / Equipment technology

△ [15a-PB3-5] Electroplating of Au-Pd Alloy Films and the Mechanical Properties

〇(M2)Tomoki Iriya¹, kyotaro Nitta¹, Chun-Yi Chen¹, Tso-Fu Mark Chang¹, Daisuke Yamane¹, Hiroyuki Ito¹, Katsuyuki Machida¹, Kazuya Masu¹, Masato Sone¹ (1.Tokyo Tech)

Keywords:Au-Pd alloys, electroplating, Vickers hardness

MEMS加速度センサーの錘としての応用が期待される金材料の機械的性質を調べるため、Au/Pd合金を5mA/cm²～11mA/cm²の電流密度で電気めっきさせ、そのビッカース硬さを測定した。