[15a-PB3-1~12] 13.4 Si processing /Si based thin film / MEMS / Equipment technology

[15a-PB3-6] Micro-Bending Test of Gold Micro-Cantilevers and the effect of width and thickness

〇(M1)Kosuke Suzuki¹, Ken Hashigata¹, Keisuke Asano¹, Chun-Yi Chen¹, Tso-Fu Mark Chang¹, Takashi Nagoshi², Daisuke Yamane¹, Katsuyuki Machida¹, Hiroyuki Ito¹, Kazuya Masu¹, Masato Sone¹ (1.titechi, 2.AIST)

Keywords:MEMS, gold, size effect

金は高密度特性からMEMS加速度センサの可動部に用いることで好感度化と小型化を同時に実現することができる。本研究では幅と厚さの異なる様々な金カンチレバーに対して微小曲げ試験を行い、および厚さがサイズ効果に及ぼす影響を調べた。