[15a-PB3-1~12] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[15a-PB3-7] 様々な測定環境における3軸加速度センサの測定ばらつき

〇今泉 文伸¹、熊田 純久 (1.小山高専)

キーワード：加速度センサ