[15a-PB4-1~13] 16.3 シリコン系太陽電池

[15a-PB4-7] カウンタドープn-a-Si層を用いたシリコンヘテロ接合太陽電池の性能

〇Huynh ThiCam Tu¹、山口 昇²、大平 圭介¹ (1.北陸先端大、2.ULVAC)

キーワード：カウンタドープ、プラズマイオン注入、Cat-CVD p-a-Si