9:30 AM - 11:30 AM
[15a-PB4-9] Fabrication of back-contact Si heterojunction solar cells using Si substrates
Keywords:Thin-film solar cell
p型結晶Si膜を光吸収層に使用するためのプロセスの確立を目的に、多結晶Si膜の代わりにp型Siウェハーを用いて、簡易構造の裏面電極型太陽電池を作製した。Sun-Voc法により、pFF ~0.8のpseudo J–V曲線が得られており、作製したデバイスの正常動作を確認した。また、アニール後の試料ではVocが改善した。ITOスパッタによるパッシベーション性能の低下がアニールにより回復したと考えられる。p型Siを光吸収層として使用した場合でも、簡易裏面電極型太陽電池の作製が可能であることを実証した。