[15p-A302-1~12] 15.4 III-V族窒化物結晶

△ [15p-A302-12] ALD法によりDBRを形成されたAlGaN UVC LD の室温パルス発振

〇酒井 忠慶¹、久志本 真希¹、張 梓懿^2,3、杉山 直治³、本田 善央^3,4、笹岡 千秋³、天野 浩^3,5,6 (1.名大院工、2.旭化成、3.名大未来材料・システム研究所、4.名大高等研究院、5.名大赤崎記念センター、6.名大VBL)

キーワード：紫外、レーザーダイオード、窒化アルミニウムガリウム