[15p-A305-1~9] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[15p-A305-6] [分科内招待講演] 低温ポリシリコン薄膜トランジスタによるシステムオングラス技術の歴史と動向

〇仲島 義晴¹ (1.ジャパンディスプレイ)

キーワード：ディスプレイ、低温ポリシリコンTFT、システムオングラス

低温ポリシリコン(LTPS: Low Temperature Poly-Si) 薄膜トランジスタ(TFT :Thin Film Transistor)は、これまで中小型でかつ高精細な液晶ディスプレイや有機ELディスプレイのバックプレーンとして広く用いられてきた。また、近年、本技術をセンサ素子へ応用する動きも多く見られる。本講演では、LTPS TFTの大きな特長であるガラス上への回路集積化技術（システムオングラス技術）のこれまでの歴史を解説するとともに、今後の展望を述べる。