[15p-B410-1~11] 3.13 半導体光デバイス

[15p-B410-2] 熱解析シミュレーションと構造関数による量子カスケードレーザの放熱性評価

〇高木 茂行¹、谷村 景貴¹、角野 努²、橋本 玲²、金子 桂²、斎藤 真司² (1.東京工科大、2.東芝)

キーワード：量子カスケードレーザ、熱抵抗、構造関数

量子カスケードレーザ(QCL)は中・遠赤外域で発振する半導体レーザである．微量ガスの濃度測定などへの応用を目指し，高出力化が求められている．高出力化のためのQCL放熱性の向上を目指し，Static法で測定された構造関数から、QCL各部分の熱抵抗を求める手法を開発した。また，QCLリッジ部構造で, 絶縁膜カバー，メタル埋込み，InP埋込みでエピサイドダウンの4種類の熱抵抗を測定し，InP埋込み方式の熱抵抗が最小となることを示した。