2020年第67回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

7 ビーム応用 » 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[15p-D215-1~11] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

2020年3月15日(日) 13:45 〜 16:45 D215 (11-215)

山本 治朗(日立)、谷口 淳(東理大)、川田 博昭(阪府大)

14:45 〜 15:00

[15p-D215-5] 二層PMMAフィルムの貼り合わせによる多段微細構造物の作製

川田 博昭1、山本 健生1、八木 駿典1、安田 雅昭1、平井 義彦1 (1.大府大工)

キーワード:三次元、熱接合、熱インプリント

中空部のある多段三次元微細構造を作製するためPVA/PET二層フィルム犠牲基板上に作製したPMMAパターンを所望のSi基板にある微細PMMAパターン上に熱圧着でパターン転写を行った。犠牲基板上にあるPMMAフィルムには微細パターン層として丈夫な高分子量のPMMA層、接着層として柔軟な低分子量のPMMA層からなる二層フィルムを用いた。二段のPMMA構造作製では二層構造はできたが、中空構造は得られなかった。今後、転写条件の最適化を行っていく。