[15p-D215-1~11] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[15p-D215-5] 二層PMMAフィルムの貼り合わせによる多段微細構造物の作製

〇川田 博昭¹、山本 健生¹、八木 駿典¹、安田 雅昭¹、平井 義彦¹ (1.大府大工)

キーワード：三次元、熱接合、熱インプリント

中空部のある多段三次元微細構造を作製するためPVA/PET二層フィルム犠牲基板上に作製したPMMAパターンを所望のSi基板にある微細PMMAパターン上に熱圧着でパターン転写を行った。犠牲基板上にあるPMMAフィルムには微細パターン層として丈夫な高分子量のPMMA層、接着層として柔軟な低分子量のPMMA層からなる二層フィルムを用いた。二段のPMMA構造作製では二層構造はできたが、中空構造は得られなかった。今後、転写条件の最適化を行っていく。