[15p-D305-1~13] 1.6 超音波

△ [15p-D305-5] 低圧スパッタによる負イオン照射の増大とScAlN薄膜の圧電性の劣化

〇冨永 卓海¹、高柳 真司¹、柳谷 隆彦² (1.同志社大、2.早稲田大)

キーワード：ScAlN、スパッタ、圧電薄膜