[15p-D411-1~5] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[15p-D411-5] シリコン結晶中の低濃度炭素の測定(ⅩⅩ) 赤外吸収測定法規格の修正試案

〇井上 直久^1,2、川又 修一²、奥田 修一² (1.東京農工大学工学院、2.大阪府立大学)

キーワード：シリコン結晶、炭素不純物濃度測定、赤外吸収

前回までに第二世代赤外吸収法によりシリコンの単結晶と多結晶の炭素濃度測定の検出下限10¹³/cm³、定量下限10¹⁴/cm³を実現し、シリコン産業で用いるための標準手続案をメーカと協力して確立し実用に供した。今回は既存の国際測定法規格との整合を図り修正案をまとめたので公開し汎用と改善につなげる。